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簡要描述:關于SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠程等離子體清洗機基于勞倫斯伯克利國家實驗室開發的高效電感耦合等離子體(ICP)放電技術。與傳統 ICP 放電技術相比,我們的 Turbo Discharge™技術進一步提高了等離子體強度多達 3 倍。
產品型號:
所屬分類:SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機
更新時間:2025-06-24
廠商性質:生產廠家
SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機是 SEMI-KLEEN 系列等離子體清潔器的特殊版本,用于超高真空(UHV)室和樣品清潔應用。等離子體源主體由釬焊到不銹鋼凸緣的玻璃管構成。所有的真空接頭都是玻璃-金屬釬焊或金屬-金屬接觸。在源體內沒有使用聚合物密封。等離子體源的背面是 1/4 英寸的 VCR 連接器。前側法蘭為 CF2.75″(DN 40 CF)不銹鋼。

SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機有兩種控制氣體流量的方法:手動針閥或外部 MFC。SEMI-KLEEN 控制器可以驅動兩個外部 MFC 并自動混合兩種工藝氣體。如果使用外部 MFC 來控制氣體流速,則配方可以指定每個 MFC 的氣體流速。