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簡(jiǎn)要描述：KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量功能。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測(cè)量，掃描范圍可達(dá)150毫米，無(wú)需拼接。
產(chǎn)品型號(hào)：
所屬分類：探針式輪廓儀
更新時(shí)間：2025-08-14
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀以市場(chǎng)的Tencor P-17臺(tái)式探針式輪廓儀系統(tǒng)為基礎(chǔ)。它涵蓋了P-17的優(yōu)秀測(cè)量性能，為臺(tái)式探針式輪廓儀提供了出色的性價(jià)比。KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，掃描范圍可達(dá)150mm，無(wú)需拼接。
臺(tái)階高度：納米級(jí)到1000微米
恒定力控制：0.03至15mg
樣品的全直徑掃描，無(wú)需拼接
視頻：5MP高分辨率彩色相機(jī)
弧形校正：可消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
軟件：簡(jiǎn)單易用的軟件界面
生產(chǎn)能力：全自動(dòng)測(cè)量，具有測(cè)序、圖形識(shí)別和SECS/GEM功能
臺(tái)階高度：2D和3D臺(tái)階高度
紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
形狀：2D和3D翹曲、形狀
應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力
缺陷檢測(cè)：2D和3D缺陷表面形貌
高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所
半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
LED：發(fā)光二極管
太陽(yáng)能
MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
汽車
醫(yī)療器械
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